中频感应加热设备材料有高纯石墨、纯钨、金属陶瓷、钨铈合金等。阴极需定期进有更换，在选择阴极材料时，要考虑成本。辅助阳极。喷嘴是等离子的外套，作为辅助阳极，起引燃等离子弧的作用。喷嘴用紫铜管焊接而成，中间通水冷却。喷口和阴极的尺寸选配要适当，其间隙大小由等离子枪的功率决定。最大功率为100一150kw的等离子枪，工作电流在1000-1200A时，其间隙为2mm左右。要求喷嘴口和阴极严格的同心，并要求阴极和辅助阳极具备一定的绝缘性能。
气体分流环。为了保证工作气体从喷嘴口均匀地喷出，在喷嘴套管和阴极套管之间安装有均匀小孔的圆环，以便控制工作气流的均匀性。气体分流环用绝缘材料制造。
供产生等离子体的气体主要是氮和氩气。尽管氢气电离后释放较多的能量，并能保持还原气氛，有利于元素的回收，但氢在高温下容易产生爆炸，通常的等离子炉不采用氢做工作气体。氮气是双原子气体，具有较高的电离电位，在电离过程中需较多的能量。等离子体的温度也比氢低。此外，氮和许多元素能形成氮化物而使钢的性能降低。使用氮气的优点是来源丰富，价格便宜。氩气是单原子气体，可直接电离，在电离时，需要的能量较少。氩气是惰性气体，对钢液具有很好的保护作用。从空气中分离氩气的技术很成熟，因此，氩气是当前等离子感应炉使用的最合适的工作气体。从空气分离装置中提取的粗氩含量为95％一98％，不能直接用作等离子枪的工作气体。市售的普通氩气中氩含量99％左右，经过净化处理后氩含量可达99·99％，可作等离子枪的工作气体。其净化作用是去除氧、氢和水分子。其净化过程是将氩气先通过装有催化剂的炉管（温度500℃）脱氧去氢，再通过硅酸层，分子啼、五氧化二磷层吸收水分。
